佳能将面向平板显示器（FPD）的光刻设备，推出可把光源更换为发光二极管（LED）的选配组件。与传统水银光源机型相比，寿命达到原来的20倍，耗电量也降低10%以上。

该产品作为2022年上市的平板显示器光刻设备的付费选配功能推出。这类设备用于电视显示屏的生产制造，客户在新采购设备时，可以从水银灯、LED两种照明光源中进行选择。

相较于水银光源，LED的照度（亮度指标）提升40%以上，光源寿命从1000小时延长至20000小时。单台设备每年水银废弃物排放量也可减少1公斤以上。产品主要瞄准希望推进环保举措的客户需求。佳能今后还将扩大适用该选配组件的设备机型范围。

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